利用超薄派瑞林薄膜作为纳米线场效应晶体管的有机栅绝缘体
应用物理
2018-09-30 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
我们报道了以超薄派瑞林（parylene）薄膜作为聚合物栅绝缘体的纳米线场效应晶体管的研制。派瑞林在室温下的气相沉积，是替代采用原子层沉积在高温下制备的氧化物绝缘体的一种有吸引力的方案。我们讨论了自行搭建的派瑞林沉积系统，该系统旨在可靠且可控地在垂直立于生长衬底上或水平置于器件衬底上的III-V族纳米线上沉积厚度小于100 nm的派瑞林薄膜。前者得到保形涂覆的纳米线，我们将其用于制备具功能的-栅与全环绕栅结构。这些结构在室温下呈现低至140 mV/dec的亚阈值摆幅以及超过的开/关比。针对全环绕栅结构，我们开发了一种新颖的制备策略，克服了以往横向包裹栅纳米线晶体管的一些局限。最后，我们展示派瑞林可沉积于经化学处理的纳米线表面；由于表面“自清洁”效应，这一特性通常是原子层沉积氧化物所无法实现的。我们的结果凸显了派瑞林作为纳米尺度电子器件中替代性超薄绝缘体的潜力，且鉴于派瑞林公认的生物相容特性，其潜在应用可拓展至纳米生物电子学。
引用
@article{arxiv.1809.10471,
title = {Using ultra-thin parylene films as an organic gate insulator in nanowire field-effect transistors},
author = {J. G. Gluschke and J. Seidl and R. W. Lyttleton and D. J. Carrad and J. W. Cochrane and S. Lehmann and L. Samuelson and A. P. Micolich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1809.10471},
year = {2018}
}