聚合物电解质膜的电子束图案化以制备纳米线晶体管的多纳米栅极
介观与纳米尺度物理
2014-04-09 v1 软凝聚态物质
摘要
我们报告了一种基于电子束的方法，用于对聚环氧乙烷/LiClO 聚合物电解质进行纳米级图案化。我们将图案化的聚合物电解质作为单纳米线晶体管中的高电容栅极电介质，并获得了与常规金属/氧化物包覆栅极纳米线晶体管相当的亚阈值摆幅。图案化消除了栅极/接触重叠，从而减少了寄生效应，并实现了多个独立可控的栅极。该方法的简便性拓宽了在纳米线及其他纳米器件研究中使用聚合物电解质栅极的范围。
引用
@article{arxiv.1404.1975,
title = {Electron-beam patterning of polymer electrolyte films to make multiple nanoscale gates for nanowire transistors},
author = {D. J. Carrad and A. M. Burke and R. W. Lyttleton and H. J. Joyce and H. H. Tan and C. Jagadish and K. Storm and H. Linke and L. Samuelson and A. P. Micolich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1404.1975},
year = {2014}
}
备注
20 pages, 4 figures. Supplementary information available at Nano Letters or by contact with APM