专为纳米尺度器件应用制备超薄薄膜而设计的聚对二甲苯涂覆系统
介观与纳米尺度物理
2019-09-13 v1 应用物理
摘要
我们报道了一种定制设计的聚对二甲苯化学气相沉积系统，用于制备超薄聚对二甲苯薄膜（厚度 5-100 nm），用作纳米尺度电子器件中的电绝缘体，包括晶体管中的栅极绝缘体。该系统具有可隔离和吹扫以终止工艺的小型沉积室、用于监测沉积的石英晶体微天平，以及用于提高涂覆一致性的旋转倾斜载台。该系统主要由现成真空配件构建，与商用聚对二甲苯涂覆系统相比易于修改且成本更低。用于器件应用的超薄聚对二甲苯薄膜制备是一个利基市场，商用涂覆系统未能很好满足，后者通常设计用于在更大面积上以高均匀性给出较厚（微米级）涂层。我们的设计用于纳米尺度器件应用的另一个优势是，小型沉积室易于拆卸并转移至手套箱，从而能够在氧/水自由环境中以最小污染对原始表面进行聚对二甲苯沉积。
引用
@article{arxiv.1909.05595,
title = {A parylene coating system specifically designed for producing ultra-thin films for nanoscale device applications},
author = {J. G. Gluschke and F. Richter and A. P. Micolich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1909.05595},
year = {2019}
}