用于非常长波红外探测的薄膜 AlN 微波计
光学
2026-04-27 v1 应用物理
摘要
我们演示了一种用于窄带非常长波红外探测的悬空薄膜铝氮化物 (AlN) 微波计装置。该装置采用厚度为 100 nm 的 AlN 膜悬空于 Pt 背反射器上，形成 1 微米气隙。横向光声子驰豫于约 15.4 微米处，并通过背反射器的悬空增强了其共振吸收。周期性穿孔图案可降低膜的热质量，进而提升吸收率，而无需进一步薄膜。可调红外照射下的直流电阻测量验证了微波计的工作特性，测得的光谱响应符合被动器件光谱测量所得的吸收轮廓。观察到 14--18 微米范围内的窄带响应，在 15.48 微米处实现峰值灵敏度为 920.8 ppm/mW。该平台可为多光谱成像、芯片级红外光谱和化学传感提供紧凑型波长选择热探测器。
引用
@article{arxiv.2604.22301,
title = {Thin Film AlN Microbolometer for Very Long-Wave Infrared Detection},
author = {Vivek Tallavajhula and Zarko Sakotic and Ian Anderson and Yinan Wang and Daniel Wasserman and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2604.22301},
year = {2026}
}
备注
6 pages, 5 figures, submitted to Applied Physics Letters