中文

利用光学显微方法识别薄层 InSe 的厚度

材料科学 2020-09-23 v1 光学

摘要

硒化铟(InSe)作为一种新型范德瓦耳斯层状半导体,因其在超薄极限下优异的光电性质而引起了广泛的研究兴趣。在此,我们讨论了四种不同的光学方法,用于定量识别沉积在各类衬底(如 SiO2/Si 或透明聚合物衬底)上的薄层 InSe 的厚度。对于沉积在透明衬底上的薄层 InSe,可利用其在可见光谱蓝光区的透射率来估算厚度。对于由 SiO2/Si 支撑的 InSe, flakes 的厚度既可通过评估其表观颜色来估算,也可利用基于菲涅耳定律的光学衬度谱拟合模型进行精确分析。最后,我们还研究了 InSe 光致发光发射能量对厚度的依赖性,这提供了一种估算 InSe 厚度的附加工具,且适用于沉积在 SiO2/Si 和透明聚合物衬底上的 InSe。

关键词

引用

@article{arxiv.2009.10489,
  title  = {Thickness identification of thin InSe by optical microscopy methods},
  author = {Qinghua Zhao and Sergio Puebla and Wenliang Zhang and Tao Wang and Riccardo Frisenda and Andres Castellanos-Gomez},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2009.10489},
  year   = {2020}
}

备注

4 figures