Hf-Si-O 系统的热力学建模
材料科学
2007-09-03 v1
摘要
通过 CALPHAD 方法，结合现有实验数据和第一性原理计算结果，对 Hf-O 系统进行了建模。生成了和铪的特殊准随机结构，以计算氧和空位的混合行为。对于氧的总能量，考虑了振动、旋转和平动自由度。将 Hf-O 系统与先前建模的 Hf-Si 和 Si-O 系统相结合，并引入了 Hf-Si-O 系统中的三元化合物 HfSiO，以计算与薄膜加工相关的稳定性图。
引用
@article{arxiv.0708.4239,
title = {Thermodynamic modeling of the Hf-Si-O system},
author = {Dongwon Shin and Raymundo Arróyave and Zi-Kui Liu},
journal= {arXiv preprint arXiv:0708.4239},
year = {2007}
}
备注
13 pages, 11 figures