基于 CALPHAD 的 Mg-Ca 薄膜物理气相沉积中温度-成分-结构关系建模
材料科学
2023-04-12 v1
摘要
采用基于 CALPHAD 的方法,对 Mg-Ca 薄膜物理气相沉积(PVD)过程中依赖温度的成分与相形成进行建模。考虑基于通过平衡热化学计算获得的蒸气压所计算的 Mg 与 Ca 升华通量,再现了薄膜成分与相形成中实验观察到的合成温度趋势。该模型是理解合成参数如何控制 PVD 中高蒸气压金属的成分进而控制相形成的重要一步。
引用
@article{arxiv.2303.04480,
title = {CALPHAD-based modelling of the temperature-composition-structure relationship during physical vapor deposition of Mg-Ca thin films},
author = {Philipp Keuter and Moritz to Baben and Shamsa Aliramaji and Jochen M. Schneider},
journal= {arXiv preprint arXiv:2303.04480},
year = {2023}
}
备注
10 pages, 3 figures