B4C/Ru 多层结构含碳阻挡层的结构与热力学稳定性
材料科学
2025-12-10 v1
摘要
使用 X射线光电子能谱 (XPS)、X射线衍射 (XRD) 和 X射线反射率 (XRR) 研究了 Mo 与 Ru 层在多层结构中根据厚度比 () 的化学相互作用. 结果显示, 多层结构内部材料发生显著相互作用, 形成锰钨化物, 随着 B4C 层厚度增加 ( 参数减小) 导致锰钨化物的化学计量数不同. 在 Ru 层于 B4C 界面引入碳阻挡层后, 锰钨化物的形成显著抑制. 也研究了在引入碳阻挡层前后对 B4C/Ru 系统进行 400C 进行 1 小时的退火热力学稳定性. 结果表明, 在 Ru 层于 B4C 界面引入碳阻挡层后, 显著提高了该系统的热力学稳定性, 这使得该系统更适用于暴露于长期辐射的光学系统. 所获结果对开发用于 EUV 光刻和 X射线光学的高效多层镜面具有重要意义.
关键词
引用
@article{arxiv.2512.08359,
title = {Structural and Thermal Stability of B4C/Ru Multilayers with Carbon Barrier Layers},
author = {A. V. Bugaev and S. S. Sakhonenkov and A. U. Gaisin and R. A. Shaposhnikov and V. N. Polkovnikov and E. O. Filatovaa},
journal= {arXiv preprint arXiv:2512.08359},
year = {2025}
}