利用GIXR和X射线驻波增强HAXPES表征带B4C阻挡层的Pd/Y多层膜
应用物理
2018-10-01 v1
摘要
Pd/Y多层膜是设计用于7.5-11 nm波长范围的高反射镜。通过磁控溅射制备的样品，在Pd和Y层的界面处沉积或不沉积B4C阻挡层，以减少由计算Pd和Y的混合焓所预期的互扩散。采用掠入射X射线反射术来表征这些多层膜。发现B4C阻挡层能有效减少Pd-Y互扩散。多层膜的组成细节由X射线驻波效应下的硬X射线光电子能谱揭示。其包括根据Bragg定律在对应于多层膜周期和入射光子能量的区域中进行角扫描来测量样品的光电子发射强度。实验结果表明，在Pd-B4C界面处Pd不与B或C发生化学反应，而在Y-B4C界面处Y会发生反应。Y-B或Y-C化合物的形成可能是界面稳定的原因。通过将实验获得的特性光电子发射的角变化与理论计算比较，可以解释各组成元素的深度分布。
引用
@article{arxiv.1809.10986,
title = {Characterization of Pd/Y multilayers with B4C barrier layers using GIXR and x-ray standing wave enhanced HAXPES},
author = {M. Y. Wu and Q. S. Huang and K. Le Guen and V. Ilakovac and B. X. Li and Z. S. Wang and A. Giglia and J. P. Rueff and P. Jonnard},
journal= {arXiv preprint arXiv:1809.10986},
year = {2018}
}
备注
13 pages, 8 figures, 1 tables, 19 references