鲁棒宽带极紫外多层膜的设计与制备
应用物理
2018-10-17 v1
摘要
随机的层厚变化会引起宽带极紫外多层膜实验反射率的严重畸变。为减小随机层厚波动的这一影响，本文改进了多目标遗传算法，并将其用于具有宽角度带通的多层膜的鲁棒设计。获得了对随机厚度误差敏感度较低的鲁棒多层膜，并制备了相应的多层膜反射镜。给出并分析了具有宽角度带的鲁棒Mo/Si多层膜的实验结果，证明了鲁棒多层膜设计的优势。
引用
@article{arxiv.1810.06691,
title = {Design and fabrication of robust broadband extreme ultraviolet multilayers},
author = {Shang-qi Kuang and Jian-bo Wang and Hai-gui Yang and Tong-lin Huo and Hong-jun Zhou},
journal= {arXiv preprint arXiv:1810.06691},
year = {2018}
}