5.5 {\mu}m波段的硅波导与环形谐振器
光学
2015-05-19 v1
摘要
我们展示了低损耗脊形波导以及首个用于中红外波段（波长范围5.4至5.6 {\mu}m）的环形谐振器。这些结构采用电子束光刻技术在蓝宝石上硅材料体系中制备。实现了4.0 +/- 0.7 dB/cm的波导损耗以及3.0 k的品质因子。
引用
@article{arxiv.1008.2978,
title = {Silicon Waveguides and Ring Resonators at 5.5 {\mu}m},
author = {Alexander Spott and Yang Liu and Tom Baehr-Jones and Rob Ilic and Michael Hochberg},
journal= {arXiv preprint arXiv:1008.2978},
year = {2015}
}
备注
4 pages, 4 figures, includes supplemental materials