基于喷墨打印在多孔硅上制备低损耗波导
应用物理
2019-07-24 v2 光学
摘要
我们报道了一种在无掩模工艺中制备嵌入氧化多孔硅的光波导的方法。通过喷墨打印实现图案化孔隙填充，从而能够对波导的折射率和其他光学性质进行横向修饰，由此提供对光波导的完全二维折射率控制。波导是通过材料打印机将KDP盐溶液涂覆在多孔硅薄膜上制成的。在1.064和1.550微米波长处演示了光导现象。在这些波长下测得的强度衰减分别为2.5 dB/cm和低于1.3 dB/cm。
引用
@article{arxiv.1812.03881,
title = {Low-loss Waveguide Fabrication by Inkjet Printing on Porous Silicon},
author = {Alexander Kellarev and Shlomo Ruschin},
journal= {arXiv preprint arXiv:1812.03881},
year = {2019}
}