面向长波红外波段的悬浮硅波导
光学
2017-12-20 v2
摘要
在本文中，我们报道了工作波长为 7.67 mm、传播损耗为 3.1 ± 0.3 dB/cm 的悬浮硅波导。据我们所知，这是首次在如此长波长下实现低损耗硅波导的演示，其损耗可与使用更特殊材料的其他平台相媲美。悬浮 Si 波导芯由亚波长光栅支撑，该光栅提供横向光学限制，同时允许接触埋氧层，从而可使用氢氟酸对其进行湿法刻蚀。我们还演示了低损耗波导弯折与 S 形弯曲。
引用
@article{arxiv.1711.03468,
title = {Suspended silicon waveguides for long-wave infrared wavelengths},
author = {J. Soler Penadés and A. Sánchez-Postigo and M. Nedeljkovic and A. Ortega-Moñux and J. G. Wangüemert-Pérez and Y. Xu and R. Halir and Z. Qu and A. Z. Khokhar and A. Osman and W. Cao and C. G. Littlejohns and P. Cheben and I. Molina-Fernández and G. Z. Mashanovich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1711.03468},
year = {2017}
}
备注
4 pages, 4 figures, accepted version