通过光刻在多孔硅中制备嵌入式波导结构
应用物理
2020-01-22 v1
摘要
我们报道了通过单一光刻胶掩模进行图案化孔隙填充，在氧化多孔硅(OPS)中制备多种嵌入式光导结构。将KDP盐从未饱和溶液中施加于样品表面以填充OPS的孔隙。采用光刻技术制作掩模。所制备的结构包括不同宽度的直波导、弯曲波导、锥形波导以及Y分支器。在1.064微米波长下演示并表征了光导特性。
引用
@article{arxiv.2001.07239,
title = {Embedded Waveguide Structures Fabricated in Porous Silicon by means of Lithography},
author = {Alexander Kellarev and Shlomo Ruschin},
journal= {arXiv preprint arXiv:2001.07239},
year = {2020}
}
备注
10 pages, 6 figures