氮化硅平台上的亚波长光栅超材料波导与环形谐振器
光学
2022-09-21 v1
摘要
我们首次提出并演示了氮化硅平台上的亚波长光栅（SWG）超材料波导与环形谐振器。该 SWG 波导经过设计，使其布洛赫模式与顶部包层材料的重叠度达到 53%，展现出在倏逝场传感与光放大方面的优异潜力。这些器件的关键尺寸大于 100 nm，采用基于电子束光刻的商业快速周转氮化硅原型代工工艺制造。对所制备器件的实验表征显示，在 C 波段具有优异的环形谐振器内部品质因数（2.11×10^5）和低传播损耗（约 1.5 dB/cm），这两项参数相比基于硅的 SWG 环形谐振器均有显著改善。这些结果证明了 SWG 超材料结构在氮化硅光子集成电路中的广阔前景。
引用
@article{arxiv.2209.09282,
title = {Subwavelength grating metamaterial waveguides and ring resonators on a silicon nitride platform},
author = {Cameron M. Naraine and Jocelyn N. Westwood-Bachman and Cameron Horvath and Mirwais Aktary and Andrew P. Knights and Jens H. Schmid and Pavel Cheben and Jonathan D. B. Bradley},
journal= {arXiv preprint arXiv:2209.09282},
year = {2022}
}
备注
12 pages, 7 figures, submitted to Laser & Photonics Reviews for publication