石墨烯纳米带互连线的电阻率
介观与纳米尺度物理
2015-05-13 v1 材料科学
摘要
制备了石墨烯纳米带互连线，并将其提取的电阻率与铜的电阻率进行了比较。研究发现，在给定线宽（18nm<W<52nm）下，平均电阻率约为铜导线的3倍，而最佳石墨烯纳米带的电阻率与铜相当。电导率受杂质散射以及线边缘粗糙度散射的限制；因此，已报道的最佳石墨烯纳米带电阻率是衬底声子散射所施加极限的3倍。这项研究表明，即使是中等质量的石墨烯纳米线，也有潜力在片上互连应用中超越铜的性能。
引用
@article{arxiv.0906.0924,
title = {Resistivity of Graphene Nanoribbon Interconnects},
author = {Raghunath Murali and Kevin Brenner and Yinxiao Yang and Thomas Beck and James D. Meindl},
journal= {arXiv preprint arXiv:0906.0924},
year = {2015}
}
备注
10 pages, 3 figures, to be published in IEEE Electron Device Letters