用于CVD生长二维材料转移的催化剂解耦拉曼光谱指示标志
材料科学
2018-05-15 v1
摘要
通过监测铜催化剂层上生长的二维材料的拉曼光谱特征，以及晶圆级自动检测转移材料的比例，我们可重复地实现覆盖率达97.5%以上单层六方氮化硼和99.7%以上单层石墨烯的转移，适用于直径达300 mm的晶圆。我们发现石墨烯的转移覆盖率与较低波数2D-峰分量的出现、以及催化剂表面氧化过程中较高波数2D+峰分量同时消失之间存在强相关性。因此，2D峰特征可作为转移成功与否的明确预测指标。本文提出的联合监测与转移工艺具有高度可扩展性，并适用于卷对卷加工。
引用
@article{arxiv.1805.05083,
title = {Raman Spectral Indicators of Catalyst Decoupling for Transfer of CVD Grown 2D Materials},
author = {Patrick R. Whelan and Bjarke S. Jessena and Ruizhi Wang and Birong Luo and Adam C. Stoot and David M. A. Mackenzie and Philipp Braeuninger-Weimer and Alex Jouvray and Lutz Prager and Luca Camilli and Stephan Hofmann and Peter Bøggild and Timothy J. Booth},
journal= {arXiv preprint arXiv:1805.05083},
year = {2018}
}
备注
18 pages, 6 figures