用于扫描隧道显微镜的超导铌针尖的等离子体刻蚀
介观与纳米尺度物理
2015-06-19 v1 超导电性
摘要
我们报告了一种可重复的技术，用于制造用于扫描隧道显微镜（STM）和扫描隧道谱的尖锐超导 Nb 针尖。将直径为 250 m 的 Nb 线段在反应离子刻蚀机中用 SF 等离子体进行干法刻蚀。通过选择合适的气体压力、刻蚀时间和施加功率，产生自锐化效应以获得所需的针尖形状。所得针尖具有原子级尖锐度，半径小于 100 nm，并在 30 mK 至 9 K 的温度范围内，在 Au(111)、Au(100) 和 Nb(100) 单晶样品以及掺杂拓扑绝缘体 BiSe 上生成了良好的 STM 图像和谱图。
引用
@article{arxiv.1404.5370,
title = {Plasma etching of superconducting Niobium tips for scanning tunneling microscopy},
author = {A. Roychowdhury and R. Dana and M. Dreyer and J. R. Anderson and C. J. Lobb and F. C. Wellstood},
journal= {arXiv preprint arXiv:1404.5370},
year = {2015}
}
备注
See supplemental file for conductance map linked to Fig. 5(b)