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沉积在ZnO缓冲层上的PZT薄膜的光学性质

材料科学 2015-10-26 v1

摘要

通过m-lines光谱研究了沉积在ZnO上的锆钛酸铅(PZT)薄膜的光学性质。为了从m-lines光谱中检索两层的折射率和厚度,我们针对双层系统开发了一种数值算法,并展示了其在噪声存在下的鲁棒性。双层模型算法的灵敏度使我们能够将观察到的PZT折射率变化归因于由于PZT/ZnO光波导的ZnO界面引起的PZT结构变化。

关键词

引用

@article{arxiv.1510.07014,
  title  = {Optical properties of PZT thin films deposited on a ZnO buffer layer},
  author = {T Schneider and D Leduc and J. Cardin and C Lupi and N Barreau and H Gundel},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1510.07014},
  year   = {2015}
}