用于波导应用的 PZT 薄膜的光学表征
材料科学
2014-05-26 v1 光学
摘要
为了开发电光波导，通过改进的溶胶 - 凝胶工艺在玻璃基板上制备了 Pb(Zr, Ti)O3 陶瓷铁电薄膜。为了研究 PZT 薄膜的光学性质，搭建了一套称为 M-lines 装置的精确折射率和厚度测量设备。针对 PZT 层开发了实验不确定度评估以及折射率和厚度精度的计算方法。利用该装置制作并研究了两种不同的 PZT 制备工艺。测试了一种制备工艺的可重复性，并在本文中展示了结果。
引用
@article{arxiv.1405.6150,
title = {Optical characterization of PZT thin films for waveguide applications},
author = {Julien Cardin and Dominique Leduc and Thomas Schneider and Cyril Lupi and Dominique Averty and Hartmut Gundel},
journal= {arXiv preprint arXiv:1405.6150},
year = {2014}
}