用于偏振无关光子集成电路与增强效率电光调制的高取向 PZT 平台
光学
2023-05-31 v1 材料科学
摘要
我们首次展示了溅射 PZT 作为开发基于 Si 的光子器件（如环形谐振器、MZI 和电光调制器）的平台。我们报道了在 MgO(002) 衬底上优化 PZT，以获得朝向 (100) 晶面高度取向、表面粗糙度为 2 nm 的 PZT 薄膜。我们模拟了 TE 和 TM 模式的 Si 光栅，其效率分别为 -2.2 dB/耦合器 和 -3 dB/耦合器，TE 和 TM 模式的偏振不敏感效率均为 50%。我们制备了效率约为 -10 dB/耦合器、6 dB 带宽为 30 nm 的 Si 光栅。MZI 的直流光特性表征产生了 c 波段 71 pm/V 的频谱偏移。
引用
@article{arxiv.2305.19126,
title = {Highly Oriented PZT Platform for Polarization-Independent Photonic Integrated Circuit and Enhanced Efficiency Electro-Optic Modulation},
author = {Suraj and Shankar Kumar Selvaraja},
journal= {arXiv preprint arXiv:2305.19126},
year = {2023}
}
备注
11 Pages, 9 Figures, 3 Tables