通过先进远程外延从单晶圆倍增独立半导体薄膜
应用物理
2022-04-19 v1 材料科学
摘要
独立单晶薄膜是功能电子学的重要构建模块。尤其是化合物半导体薄膜如 III-N 和 III-V 为光电子、高功率电子和高速计算提供了巨大机遇。尽管为从供体晶圆剥离外延层以制备此类薄膜付出了巨大努力，但利用实用工艺收获外延层仍具挑战性。在此，我们展示一种在晶圆尺度以极高通量生长和收获多个外延薄膜的方法。为此，二维材料在外延系统中直接在 III-N 和 III-V 衬底上形成，这使得一种先进远程外延方案成为可能，该方案由二维材料与外延层交替的多层构成，可通过单次外延运行形成。然后多栈结构中的各外延层通过逐层剥离收获，从单个晶圆生产出多个前所未有通量的独立薄膜。由于二维材料允许在界面处剥离而不损伤外延层或衬底，晶圆可重复使用于后续薄膜生产。因此，该工作代表了向可异质集成单晶薄膜的高通量、低成本生产的有意义一步。
引用
@article{arxiv.2204.08002,
title = {Multiplication of freestanding semiconductor membranes from a single wafer by advanced remote epitaxy},
author = {Hyunseok Kim and Yunpeng Liu and Kuangye Lu and Celesta S. Chang and Kuan Qiao and Ki Seok Kim and Bo-In Park and Junseok Jeong and Menglin Zhu and Jun Min Suh and Yongmin Baek and You Jin Ji and Sungsu Kang and Sangho Lee and Ne Myo Han and Chansoo Kim and Chanyeol Choi and Xinyuan Zhang and Haozhe Wang and Lingping Kong and Jungwon Park and Kyusang Lee and Geun Young Yeom and Sungkyu Kim and Jinwoo Hwang and Jing Kong and Sang-Hoon Bae and Wei Kong and Jeehwan Kim},
journal= {arXiv preprint arXiv:2204.08002},
year = {2022}
}