带有光纤的微型荧光激发平台用于生物检测芯片
其他计算机科学
2007-11-29 v1
摘要
本文提出了一项关于带有光纤传输的荧光生物检测芯片平台制造的新研究。其中包括在 (100) 硅晶圆上进行各向异性湿法刻蚀以制造用于光纤对准的 V 型槽和微反射镜。结合阳极键合技术将玻璃、硅结构和光纤粘合，完成了荧光激发平台的构建。在本研究中，使用 40% KOH 刻蚀液研究了参数效应。结果表明，工作温度是显著影响刻蚀速率的主要参数。各向异性刻蚀产生了 54.7 度的反射镜，并检查了其对光束的反射率。使用 AFM 测得微反射镜的表面粗糙度为 Ra 4.1 nm，提供了优异的光反射性能。还检查了入射光和光束轮廓以供进一步研究。本研究表明该微平台适用于荧光生物检测。
引用
@article{arxiv.0711.3325,
title = {Miniaturized Fluorescence Excitation Platform with Optical Fiber for Bio-Detection Chips},
author = {Hsiharng Yang and Chung-Tze Lee},
journal= {arXiv preprint arXiv:0711.3325},
year = {2007}
}
备注
Submitted on behalf of TIMA Editions (http://irevues.inist.fr/tima-editions)