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应变异质外延中的岛、坑与沟槽形成

统计力学 2009-11-11 v1 材料科学

摘要

我们使用三维动力学 Monte Carlo 方法研究了应变异质外延薄膜的形貌演化。问题的弹性部分使用了 Green 函数方法。在沉积速率慢于内禀表面粗糙化速率的沉积条件下,观察到了孤立岛。在高温和低温情况下,它们分别呈半球形和截锥形。在高温下对薄膜进行退火会导致形成与不稳定性理论一致的密排岛。在低温下,坑通过逐层成核机制形成,随后发展成沟槽。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0501740,
  title  = {Island, pit and groove formation in strained heteroepitaxy},
  author = {M. T. Lung and Chi-Hang Lam and Leonard M. Sander},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0501740},
  year   = {2009}
}

备注

4 pages, 4 figures