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4H-SiC(0001)/SiO$_2$ 界面电子散射的内禀起源

材料科学 2017-02-01 v1

摘要

我们引入一项第一性原理研究,以阐明 SiC/SiO2_2 界面的载流子散射特性。有趣的是,即使没有电活性缺陷,导带边的电子输运也受到氧引入的显著影响。这种大散射的起源由内部空间态(ISSs)的行为解释。此外,ISSs 的影响大于电活性碳相关缺陷的影响。这一结果表明,在 SiC/SiO2_2 界面发生了一种在传统 Si/SiO2_2 中未考虑的额外散射。

关键词

引用

@article{arxiv.1607.04399,
  title  = {Intrinsic origin of electron scattering at 4H-SiC(0001)/SiO$_2$},
  author = {Shigeru Iwase and Christopher James Kirkham and Tomoya Ono},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1607.04399},
  year   = {2017}
}

备注

17 pages, 5 figures