诱导锡瘟以清洁受锡滴污染的光学元件
材料科学
2018-01-18 v1
摘要
研究了锡的同素异形 β - α 相变（即锡瘟）在清洁受锡污染光学元件中的应用。材料结构变化的诱导导致锡样品碎裂成碎片和粉末。使用 α-Sn 籽晶颗粒接种，研究了不同纯度等级锡滴的转变时间，同时也研究了在先前机械形变和去除表面氧化层之后的转变时间。对于极高纯度的锡，在 -24 °C 冷却下，可以在数小时内快速成核并在一天内完全转变，导致材料强烈脆化。滴在极紫外光刻机中使用的多层镀膜光学元件样品上的锡，在接种和冷却后通过相变变得可清洁。发现使用这种清洁方法，多层镀膜反射镜的反射率降低不超过 1%。
引用
@article{arxiv.1706.01223,
title = {Induction of tin pest for cleaning tin-drop contaminated optics},
author = {Norbert Böwering},
journal= {arXiv preprint arXiv:1706.01223},
year = {2018}
}