用于观测空气退火中光学涂层原位变化的成像散射仪
仪器与探测器
2023-01-25 v2 光学
摘要
非晶光学涂层的退火已被证明通常可降低光学吸收、光学散射与机械损耗，且更高温度退火效果更佳。可达最高温度受限于会引发结晶、开裂或起泡等涂层损伤的水平。加热引起的涂层损伤通常仅在退火后静态观测到。亟需一种动态观测此类损伤在退火中如何发生及发生于何种温度范围的实验方法，其结果可指导制造与退火工艺以最终获得更优涂层性能。我们研制了一种新仪器，其特点为工业退火炉，侧边开孔作为观测窗以照亮光学样品并在退火中原位实时观测其涂层散射及最终损伤机制。我们给出结果，展示了对熔融石英衬底上钛掺杂钽酸盐涂层变化的原位观测。我们获得了退火中这些变化演化的空间图像（映射），此为相对于X射线衍射、电子束或拉曼方法的优势。基于文献中其他实验，我们推断这些变化由结晶引起。我们进一步讨论该装置用于观测开裂与气泡等其他形式涂层损伤的效用。
引用
@article{arxiv.2210.03143,
title = {Imaging Scatterometer for Observing In-Situ Changes to Optical Coatings During Air Annealing},
author = {Michael Rezac and Daniel Martinez and Amy Gleckl and Joshua R. Smith},
journal= {arXiv preprint arXiv:2210.03143},
year = {2023}
}
备注
11 pages, 6 figures, accepted by Applied Optics, typo corrections and new sentences added. arXiv admin note: text overlap with arXiv:2202.12393