利用原位低角横截面改善俄歇薄膜分析中的溅射深度分辨率

利用标准俄歇微探针仪器，开发了一种具有增强深度分辨率的薄膜系统深度剖析非传统方法。为制备原位低角横截面，样品部分被适当的掩模覆盖。利用该掩模的边缘，样品在俄歇微探针中以接近掠入射的离子溅射。在掩模的阴影中，这产生了穿过薄膜系统的低角横截面。然后，在感兴趣的点测量常规深度剖面，其中部分薄膜系统仅被薄顶层覆盖。结果表明，该方法可显著改善深度分辨率 $\delta z / z$。