基于图像直方图的二次电子计数用于评估扫描电镜中的探测量子效率
仪器与探测器
2020-08-17 v2
摘要
扫描电子显微镜是有机和无机材料纳米尺度成像的有力工具。表征这些显微镜性能极限的一个重要指标是探测量子效率（DQE），它衡量由二次电子（SE）探测器检测到的发射二次电子的比例。然而，测量DQE的常用技术将SE发射过程近似为泊松分布，这可能导致不正确的DQE值。在本文中，我们介绍了一种测量DQE的技术，其中我们使用图像直方图直接计数从样品检测到的二次电子的平均数量。该技术不假设SE服从泊松分布，并使得在更广泛的成像条件下准确测量DQE成为可能。作为我们技术的演示，我们绘制了显微镜中DQE随工作距离变化的分布图。
引用
@article{arxiv.2008.01917,
title = {Image-Histogram-based Secondary Electron Counting to Evaluate Detective Quantum Efficiency in SEM},
author = {Akshay Agarwal and John Simonaitis and Karl K. Berggren},
journal= {arXiv preprint arXiv:2008.01917},
year = {2020}
}