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扫描透射电子显微镜中利用二次电子的原子成像:实验观测与可能机制

材料科学 2010-08-31 v1

摘要

我们报告了在像差校正透射电子显微镜Hitachi HD2700C中,使用亚纳米探针进行二次电子高分辨率成像的详细研究。该仪器还允许我们同时且独立地获取相应的环形暗场图像。我们证明,对于从铀到碳的广泛元素,原子级二次电子成像是可行的。以环形暗场图像为参考,我们研究了二次电子图像强度和衬度随外加偏压、原子序数、晶体倾转和厚度的变化,以揭示二次电子成像中意外超高分辨率的起源。我们还证明了二次电子信号对晶体表面的终止物种敏感。提出了原子尺度二次电子成像的可能机制。在原子尺度上同时成像样品表面和体相的能力是前所未有的,可能彻底改变电子显微镜和成像领域。

关键词

引用

@article{arxiv.1008.5139,
  title  = {Atomic Imaging Using Secondary Electrons in a Scanning Transmission Electron Microscope : Experimental Observations and Possible Mechanisms},
  author = {H. Inada and D. Su and R. F. Egerton and M. Konno and L. Wu and J. Ciston and J. Wall and Y. Zhu},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1008.5139},
  year   = {2010}
}

备注

20 pages, including 16 figures and 2 tables