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MOSFET 在低至 4.2 K 低温下的热载流子退化

应用物理 2021-10-22 v2

摘要

由于广泛应用及 CMOS 性能的提升,低温 CMOS(Cryo-CMOS)工作受到广泛关注。然而,热载流子退化(HCD)在低温下加剧,影响 Cryo-CMOS 的可靠性。因此,本文研究 0.18 um 体 CMOS 在低至 4.2 K 低温下的 HCD,特别讨论了 HCD 与电流过冲现象的关系以及衬底偏压对 HCD 的影响。此外,我们预测了器件在 77 K 与 4.2 K 的寿命。结论是低温 NMOS 在标准漏电压(VDD)下无法达到十年商用标准寿命;并预测当 77 K/4.2 K 下 VDD<1.768V/1.734V 时可满足可靠性要求。不同的是,PMOS 的寿命即使在低温下也足够长。

关键词

引用

@article{arxiv.2104.12165,
  title  = {Hot Carrier Degradation in MOSFETs at Cryogenic Temperatures Down to 4.2 K},
  author = {Yuanke Zhang and Chao Luo and Tengteng Lu and Yujing Zhang and Jun Xu and Guoping Guo},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2104.12165},
  year   = {2021}
}

备注

6 pages, 9 figures