硅传感器的非接触高精度光学三维计量
仪器与探测器
2019-06-26 v1
摘要
我们描述了一种用于硅微条传感器非接触光学三维计量的装置与流程。空间点通过视频显微镜和高精度 XY 台获取。XY 维度由工作台移动和模式识别获得，而 Z 维度由对光学系统距被测物体不同距离拍摄的显微图像进行快速傅里叶变换分析得出。该装置用于测量安装到碳纤维结构上的硅传感器位置，精度达几微米。
引用
@article{arxiv.1812.00917,
title = {High-Precision Contactless Optical 3D-Metrology of Silicon Sensors},
author = {E. Lavrik and I. Panasenko and S. Mehta and U. Frankenfeld and H. R. Schmidt},
journal= {arXiv preprint arXiv:1812.00917},
year = {2019}
}