硅传感器光学质量保证的先进方法
仪器与探测器
2019-02-20 v2 机器学习
高能物理 - 实验
核实验
摘要
我们描述了一种用于硅微条传感器光学质量保证的装置。开发了模式识别算法来分析传感器的显微扫描图像以检测缺陷。结果表明，该软件对划痕、短路、断金属线等缺陷的识别和分类率达到 ~90\%。我们已经证明，基于神经网络技术的先进图像处理能够进一步提高识别和缺陷分类率。
引用
@article{arxiv.1807.00211,
title = {Advanced Methods for the Optical Quality Assurance of Silicon Sensors},
author = {E. Lavrik and I. Panasenko and H. R. Schmidt},
journal= {arXiv preprint arXiv:1807.00211},
year = {2019}
}