用于像素级平顶光束生成的高效光栅耦合器
光学
2022-03-22 v1 应用物理
摘要
我们展示了一种光栅耦合器，可从光子集成电路向自由空间产生具有小束宽的高质量平顶光束。该光栅耦合器设计于 220 nm 厚硅层的绝缘体上硅晶圆，由双刻蚀光栅（DG）与分布布拉格反射镜（DBR）组成。通过调节 DG 与 DBR 的结构参数，实现了在 1550 nm 处垂直辐射为 -0.5 dB、模式匹配度 97% 的像素级（6.6 um）平顶光束。此外，设计了一系列高效光栅耦合器以产生不同尺度的平顶光束。
引用
@article{arxiv.2203.10802,
title = {High-efficiency grating couplers for pixel-level flat-top beam generation},
author = {Zhong-Tao Tian and Ze-Peng Zhuang and Zhi-Bin Fan and Xiao-Dong Chen and Jian-Wen Dong},
journal= {arXiv preprint arXiv:2203.10802},
year = {2022}
}