用于面外光束耦合的大面积光栅的制备研发
光学
2020-10-08 v1 应用物理
摘要
我们开发了一种单层波导表面光栅结构，用于将绝缘体上硅（SOI）衬底上大面积（~100 um 尺度）Si 波导中波长 ~1.55 um 的近红外（NIR）光垂直耦合至自由空间，以用于高功率激光应用。我们的设计方法基于局域发射角与耦出强度的优化。仿真结果表明，在期望焦位处可获得 1/e2 宽度为 3.82 um 的焦斑，仿真源到自由空间聚焦效率为 33%（-4.81 dB），而初始测量显示效率为 22%（-6.58 dB）。
引用
@article{arxiv.2010.03435,
title = {Fabrication Development of a Large Area Grating for Out of Plane Beam Coupling},
author = {Jonathan Trisno and Tong Hua Lee and Parvathi Nair S. and You Sin Tan and Ray J. H. Ng and Yingyan Huang and Seng Tiong Ho and Joel K. W. Yang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2010.03435},
year = {2020}
}