基于变迹鱼骨光栅耦合器的可扩展鲁棒光束整形
光学
2023-11-20 v1 应用物理
摘要
片上导模与自由空间光模之间的高效功率耦合需要利用变迹光栅耦合器进行精确的空间模式匹配。然而，光栅变迹常受限于制备工艺的最小特征尺寸。当需小特征尺寸以在短波长下制备光栅或实现大面光栅的弱散射光时，这尤其具挑战性。在此，我们演示了一种鱼骨光栅耦合器，用于精确光束整形并在461 nm波长下产生毫米级光束。我们的设计将最小特征尺寸与最小可达成光学散射强度解耦，从而实现平滑开启与连续发射控制。我们的方法兼容商用代工光刻技术，且相较于常需电子束光刻的亚波长超光栅，对制备工艺的分辨率与波动性均具有更低的敏感性。
引用
@article{arxiv.2309.08791,
title = {Scalable and Robust Beam Shaping Using Apodized Fish-bone Grating Couplers},
author = {Chad Ropp and Dhriti Maurya and Alexander Yulaev and Daron Westly and Gregory Simelgor and Vladimir Aksyuk},
journal= {arXiv preprint arXiv:2309.08791},
year = {2023}
}
备注
10 pages, 6 figures