用于集成量子纳米光子硬件的三角形截面栅格耦合器（硅碳）
光学
2025-04-24 v2
摘要
我们设计、制造和表征了用于三角形截面光子器件的鱼骨栅格耦合器，适用于硅碳中色心中心的集成。优化了周期性和准周期性栅格耦合器设计，以实现将最高31%的光输出为三角形波导的基本TE模式。该器件采用离子束刻蚀工艺制造于掺杂NV中心集合的4H-SiC样品上。室温传输和低温NV中心光致发射收集测量表明实验栅格耦合器效率可达最高24%。该结果为从SiC量子纳米光子器件高效提取色心中心光信号至自由空间光提供了可扩展方法。
引用
@article{arxiv.2410.12150,
title = {Triangular cross-section grating couplers for integrated quantum nanophotonic hardware in silicon carbide},
author = {Pranta Saha and Alex H. Rubin and Sridhar Majety and Scott Dhuey and Marina Radulaski},
journal= {arXiv preprint arXiv:2410.12150},
year = {2025}
}