悬空三角形纳米梁波导的自由空间耦合器设计
光学
2022-10-07 v1
摘要
具有三角形横截面的光子波导正被研究用于金刚石、玻璃和氮化镓等材料体系，这些体系缺乏制备传统矩形纳米光子波导的便捷方案。此类三角形波导中光学元件（如耦合器和光栅）的设计规则尚不完善。本文给出将光从垂直方向耦合进、耦合出三角形波导的元件仿真，这些元件可利用现有倾角刻蚀工艺实现。对于从高数值孔径物镜聚焦的光，器件展现出接近 \unit{50}{\%} 的耦合效率。此类耦合器的实现将实现对密集排布集成电路元件的快速高效测试。
引用
@article{arxiv.2207.06157,
title = {Design of free-space couplers for suspended triangular nano-beam waveguides},
author = {J. P. Hadden and Cobi Maynard and Daryl M. Beggs and Robert A. Taylor and Anthony J. Bennett},
journal= {arXiv preprint arXiv:2207.06157},
year = {2022}
}
备注
7 pages, 5 figures