通过新型电弧蒸发器获得的功能性 Zr、{\alpha}-Ta 和 ({\alpha}-\b{eta}) Ta 厚涂层
材料科学
2017-10-13 v1
摘要
描述了一种称为 PVD Droplets 的新型等离子团簇沉积技术及其主要运行原理。展示了基于 Ta 和 Zr 的、厚度超过 20 {\mu}m 的新型厚功能性涂层。列出了涂层材料物理化学性能的研究结果，包括超导性能的初步研究。对所得涂层与样品 CVD 涂层进行了比较评估。
引用
@article{arxiv.1710.04243,
title = {Functional Zr, {\alpha}-Ta, and ({\alpha}-\b{eta}) Ta thick coatings obtained by original arc-evaporator},
author = {Konstantin Pavlov and Petri Vuoristo and Alexander Savin and Heli Koivuluoto and Konstantin Gorchakov},
journal= {arXiv preprint arXiv:1710.04243},
year = {2017}
}
备注
13 pages, 14 figures