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化学气相沉积合成金刚石:材料、技术与应用

材料科学 2015-05-14 v1

摘要

近年来,化学气相沉积 (CVD) 金刚石的合成取得了实质性进展,为工程师和设计师提供了获取大量新型金刚石材料的途径。CVD 金刚石具有许多卓越的材料特性,能够在医疗诊断、水处理、辐射探测、大功率电子学、消费音频、磁力测量和新型激光器等多样化应用中实现卓越性能。通常,该材料以平面形式合成,但非平面几何形状也是可能的,并支持许多关键应用。本文回顾了单晶和多晶 CVD 金刚石的材料特性和特征,以及如何利用这些特性,特别关注光学、电子学和电化学。它还总结了如何基于合成一致且工程化的高性能产品的能力,为特定应用定制 CVD 金刚石。

关键词

引用

@article{arxiv.0909.1185,
  title  = {Chemical vapour deposition synthetic diamond: materials, technology and applications},
  author = {R S Balmer and J R Brandon and S L Clewes and H K Dhillon and J M Dodson and I Friel and P N Inglis and T D Madgwick and M L Markham and T P Mollart and N Perkins and G A Scarsbrook and D J Twitchen and A J Whitehead and J J Wilman and S M Woollard},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0909.1185},
  year   = {2015}
}

备注

51 pages, 16 figures