微波等离子体金刚石的可扩展制备与供应链：微型综述
应用物理
2023-08-02 v1 等离子体物理
摘要
恰好在 40 年前被发现并报道的微波等离子体辅助化学气相沉积（MPACVD）指出了一种有经济性的技术，有望规模化生产实验室培育金刚石。在这一突破发现——证明金刚石可在低压低温下生长——之后，进展迅速受阻，合成单晶金刚石（SCD）的尺寸与质量未能提升至满足固态电子学关键要求的水平。这导致 MPACVD 的早期承诺未能实现，并减缓了投资力度，从而进一步拖累了金刚石合成的进展。随着若干新型同质与异质外延生长技术的发明，金刚石研究与技术近来重获生机。本微型综述试图把握金刚石 MPACVD 近期进展的势头，其或终将带来面向未来电子与光学的高质量大尺寸晶圆的可扩展制造。
引用
@article{arxiv.2308.00223,
title = {Scalable Production and Supply Chain of Diamond using Microwave Plasma: a Mini-review},
author = {Sergey V. Baryshev and Matthias Muehle},
journal= {arXiv preprint arXiv:2308.00223},
year = {2023}
}