Al-AlN-TiN多层膜中闪锌矿结构AlN层的第一性原理模拟
材料科学
2016-06-21 v2
摘要
本文确立了通过氮原子扩散进入Al晶格而生长亚稳闪锌矿AlN薄膜的一种不寻常机制。利用第一性原理密度泛函理论，我们研究了由于外延应变和界面效应导致AlN以闪锌矿相热力学稳定的可能性，但这无法解释闪锌矿AlN的形成。随后我们通过氮原子直接扩散到Al八面体和四面体间隙位，比较了fcc Al中岩盐矿和闪锌矿AlN的形成能学。确定闪锌矿AlN薄膜的形成是动力学驱动过程，而非热力学驱动过程。
引用
@article{arxiv.1604.02590,
title = {First-principles modeling of zincblende AlN layer in Al-AlN-TiN multilayers},
author = {Satyesh K Yadav and Jian Wang and Xiang-Yang Liu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1604.02590},
year = {2016}
}
备注
Submitted to JAP