具有纳米纹理表面的移动样品的快速表征
光学
2015-03-31 v1
摘要
我们利用配备两个探测器（CCD 相机和光谱仪）的改装商用光学显微镜，通过光学衍射技术对纳米纹理表面进行表征。对于光栅的高度、宽度和侧壁角等拓扑参数，其采集和分析时间仅需几毫秒。我们证明了该显微镜具有纳米级分辨率，即使在存在大量振动的环境（如机器地板）中亦然。此外，我们展示了一种利用集成 CCD 相机寻找感兴趣区域的简便方法。
引用
@article{arxiv.1501.05793,
title = {Fast Characterization of Moving Samples with Nano-Textured Surfaces},
author = {Morten Hannibal Madsen and Poul-Erik Hansen and Maksim Zalkovskij and Mirza Karamehmedović and Jørgen Garnæs},
journal= {arXiv preprint arXiv:1501.05793},
year = {2015}
}
备注
19 pages, 4 figures