CCD 热反射成像系统：方法与实验验证

P. -L. Komarov; M. G. Burzo; P. -E. Raad

CCD 热反射成像系统：方法与实验验证

材料科学 2007-09-13 v1

作者: P. -L. Komarov , M. G. Burzo , P. -E. Raad

摘要

本文介绍了一种基于热反射的系统，旨在以亚微米空间分辨率测量激活微电子器件的表面温度场，可使用激光或 CCD 相机。文章描述了该系统，概述了测量方法，并展示了验证结果。热反射成像（TRTG）系统能够以 0.2 $\mu$ m 的分辨率获取高达 512x512 个点的器件表面温度场。文中介绍了设置和测量方法，以及将测得的表面反射率变化转换为绝对温度所需的校准过程细节。为了展示该系统的能力，激活了标准金微电阻并测量了其表面温度场。比较了 CCD 相机和我们现有的基于激光的测量方法的结果，发现两者非常吻合。最后，通过比较 TRTG 方法获得的温度与电阻测量获得的温度，对系统进行了验证。

关键词

thermal properties of materials cryogenics radiative cooling

引用

@article{arxiv.0709.1854,
  title  = {CCD Thermoreflectance Thermography System: Methodology and Experimental Validation},
  author = {P. -L. Komarov and M. G. Burzo and P. -E. Raad},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0709.1854},
  year   = {2007}
}

CCD 热反射成像系统：方法与实验验证

摘要

关键词

引用

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