热扩散成像:宽温区内薄膜面内热导率的测量
应用物理
2020-11-24 v1
摘要
本工作结合热扩散片方法的原理与热反射测量的成像能力,测量薄膜的面内热导率,无需悬浮薄膜或沉积多个温度计。我们将这种混合技术称为热扩散成像。热反射成像系统提供薄膜表面的温度分布图。面内热导率可从温度衰减曲线中提取。通过将系统与低温恒温器耦合,我们能够在 40 K 至 400 K 范围内进行测量。测量了带周期孔与不带周期孔的硅薄膜样品,并与面内时域热反射(TDTR)测量及文献数据进行比较,以验证热扩散成像。
引用
@article{arxiv.2004.07428,
title = {Heat Diffusion Imaging: In-Plane Thermal Conductivity Measurement of Thin Films in a Broad Temperature Range},
author = {T. Zhu and D. H. Olson and P. E. Hopkins and M. Zebarjadi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2004.07428},
year = {2020}
}
备注
7 pages, 5 figures