基于逐线全模式提取光频梳的全级联链合成波长数字全息术对毫米级台阶物体的纳米精度表面计量
光学
2023-05-18 v1
摘要
数字全息术（DH）是一种以亚波长精度进行物体表面轮廓测量的有力工具。本文中，我们展示了全级联链合成波长DH（FCL-SW-DH）用于毫米级台阶物体的纳米精度表面计量。从10GHz间隔、3.72THz跨度的电光调制器光频梳（EOM-OFC）中，以模式间隔为步长依次提取出300个具有不同波长的光频梳（OFC）模式。所得的299个合成波长与单个光波长用于生成细步进、宽范围的级联链，覆盖1.54 μm至29.7 mm的波长范围。我们确定了0.1000mm步进的表面，在14.85 mm最大轴向范围内的轴向不确定度为6.1 nm。
引用
@article{arxiv.2301.10476,
title = {Nanometer-precision surface metrology of millimeter-size stepped objects using full-cascade-linked synthetic-wavelength digital holography using a line-by-line full-mode-extracted optical frequency comb},
author = {Eiji Hase and Yu Tokizane and Kazuki Sadahiro and Takeo Minamikawa and Isao Morohashi and Takeshi Yasui},
journal= {arXiv preprint arXiv:2301.10476},
year = {2023}
}
备注
22 pages, 6 figures