基于分区孔径波前成像的单次曝光轮廓测量术
光学
2015-06-01 v1
摘要
我们展示了一种基于分区孔径波前成像仪与标准灯源反射显微镜相结合的技术，用于表面形貌的瞬时测量。该技术可在大视场下以视频速率运行，并提供纳米级轴向分辨率和亚微米级横向分辨率。我们讨论了该技术的性能特征，并在实验上将其与扫描白光干涉术进行了比较。
引用
@article{arxiv.1307.5267,
title = {Single-exposure profilometry using partitioned aperture wavefront imaging},
author = {Roman Barankov and Jerome Mertz},
journal= {arXiv preprint arXiv:1307.5267},
year = {2015}
}
备注
4 pages