磁控溅射技术合成的Ti/Al多层薄膜中的面心立方钛
材料科学
2009-12-01 v1 其他凝聚态物理
摘要
采用直流和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积了具有精确厚度的Ti/Al多层薄膜。横截面透射电子显微镜显示，存在十五层未混合的、平行且交替的Ti和Al层，界面清晰，厚度分别为27纳米和15纳米。Ti层由六方密堆积和面心立方相组成，而Al层为面心立方相。X射线衍射和选区电子衍射分析均证实了这些相的存在。通过X射线衍射在沉积态Ti/Al多层薄膜中检测到面心立方钛，表明面心立方钛相并非如先前一些研究者所设想的透射电镜样品制备的人为产物。当使用双射频枪沉积Ti时，出现了面心立方钛相，并且随着枪功率的提高，对应面心立方相的衍射峰强度增加。基于修正状态方程的热力学分析证实，与纯Ti热力学稳定的面心立方相相反，六方密堆积相的形成是由于晶粒尺寸减小而非杂质驱动所致。
引用
@article{arxiv.0911.5406,
title = {Face-centered-cubic titanium in Ti/Al multilayer thin films synthesized by magnetron sputtering technique},
author = {Ramaseshan Rajagopalan and Arup Dasgupta and Ramachandran Divakar and Sitaram Dash and Nithya Ravindran and Saroja Saibaba and Ashok Kumar Tyagi and Supriya Bera and Indranil Manna},
journal= {arXiv preprint arXiv:0911.5406},
year = {2009}
}
备注
20 pages, 5 figures. Submitted to Journal of Applied Physics