非晶氧化钛薄膜的飞秒激光晶化
应用物理
2018-08-21 v1 材料科学
摘要
本文通过实验证明，非晶氧化钛经超快激光脉冲处理后会出现晶相。采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制备非晶钛薄膜，并使其暴露于飞秒激光脉冲下。通过 X 射线衍射、拉曼测量和电子背散射衍射确认了金红石相的形成。文中给出了晶化的一系列工艺参数，并讨论了可能的背景机制。
引用
@article{arxiv.1808.05061,
title = {Femtosecond laser crystallization of amorphous titanium oxide thin films},
author = {Jan S. Hoppius and Danny Bialuschewski and Sanjay Mathur and Andreas Ostendorf and Evgeny L. Gurevich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1808.05061},
year = {2018}
}