薄膜相板的新材料

此前用于透射电子显微镜（TEM）的 Zernike 相板始终由碳制成。这些相板的一个关键限制是在使用过程中会快速退化。本文首次制备并测试了由金属制成的 Zernike 相板。对于新的铝相板，未观察到类似碳相板的充电现象。在使用条件下，铝相板的稳定性极佳。对于两种材料，当将薄膜插入后焦面处的光束中时，均观察到图像傅里叶变换中的畸变。该畸变是一种负的、与空间频率相关的相移，并不等同于焦距变化。在所测试的相板中均观察到了相移和对比度的增加。利用 Janbroers 等人发明的技术，制备了不同类型的自支撑金属膜。在室温下制备的所有金属膜均呈现多晶结构，而碳膜是非晶的。然而，高结晶度是不利的，因为衍射会导致图像畸变并增加相板中的电子散射。通过低温沉积，获得了兼具非晶结构与金属优良特性（如充电更少且耐久性更长）的金属膜。TEM 研究表明，这些低温膜作为 Zernike 相板材料具有巨大潜力。利用原子力显微镜在薄膜与其基底的台阶边缘处成功进行了厚度测量。为此，本文开发了一种用于制备极窄台阶边缘的技术。